電子機能材本部

半導体関連製品

検査・測定工程

ウエハー外観検査装置　AXIOSECT 300　（HSEB GmbH）
HSEBのウエハー外観検査システムはCarl Zeissの光学系と、4軸方向に自在に動くウエハーステージにより、ウエハー表裏面のあらゆるマクロ欠陥の検出が可能です。また、顕微鏡ステージ、ウエハーエッジモニタリングシステム等の豊富なオプションにより総合的なウエハー検査をご提案します。

In-situ 成膜モニタリングシステム　EpiEYE series（ORS社）

英国ORS社のEpiEYE series In-situ成膜モニタリングシステムは高性能で、幅広いエピタキシャル装置に対応可能です。
リアルタイムに、膜厚レート、温度、ウエハー反り量を求められ、デバイスの不良品発生防止および歩留まり改善に役に立ちます。