分子気相成膜（MVD）装置 (Applied MST社)
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AMST社のMVD装置は、金属や樹脂等の各種基板
に下記のような機能薄膜を成膜できる装置です。
弊社ではデモ機を保有しており、サンプル成膜や受託加工にも 対応しております。
弊社ではデモ機を保有しており、サンプル成膜や受託加工にも 対応しております。
- MEMSデバイスの固着防止（アンチスティクション）薄膜
- 撥水、親水、生体適応、密着などの表面処理
- パターニング不要の半導体ウエハ金属パッドの腐食 変色防止薄膜
- ナノインプリントモールドの離型薄膜
- インクジェットヘッドの高耐擦性撥インク薄膜
- 防湿、耐ケミカルバリア膜
アプリケーション別AMSTのMVD膜の機能例
【シリコンMEMSのアンチ・スティクション（固着防止）膜】
【 濡れ性が調整可能 】  【優れた温度安定性 】  【高い耐摩耗性膜 】  |
【非常に高い成膜カバレッジ性
】 【ナノインプリント型の離型性改善】  【低温プロセスでの防湿膜成膜】  |
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What is MVD?
MVD®(分子気相成膜）法は、AMSTの特許技術で、アンチ・スティクション（非固着）膜や、撥水膜、親水膜、接着膜、生体適合膜や保護膜、反応性膜といった各種機能膜を 低温で成膜できる革新的な成膜技術です。
AMSTのMVD成膜装置は、SAM（自己組織化単分子）膜、ALD（原子層堆積）法による薄膜、CVD法による薄膜を組み合わせた複雑な高機能薄膜を１台の装置で連続成膜できます。
これらの成膜手法はMEMS、ナノインプリントプロセス、インクジェットプリンター、ライフサイエンス、半導体パッケージの金属パッド保護などの用途で、すでに世界中で量産レベルで使用され始めています。
■MEMSの歩留まり改善
■ナノインプリントモールド: 離型性の保持
■半導体パッケージの実装パッドの酸化防止
■防湿膜
■ライフサイエンス用途
| 片持梁構造の摩耗テスト | |||||||
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High-G ショックテスト (MEMS マイクロフォン) |
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■半導体パッケージの実装パッドの酸化防止
■防湿膜
■ライフサイエンス用途
MVD 装置とMVD膜の特徴
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機能膜材料の消費は必要最少量 ・極薄膜 (20-500Å) ・低温成膜 ・バッチもしくは基板一枚ずつ処理 (6もしくは8インチウエハカセット丸ごと処理可能) ・多種多様な基板種類に対応可能 ・SAM膜、CVD膜、ALD膜の統合プロセス ・低い膜欠陥密度 ・有機薄膜、有機金属薄膜が成膜可能 ・自動成膜処理 ・優れた膜厚均一性と高いカバレッジ特性 ・有用性は多数の量産現場で実証済み |
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AMST はこれまで、60台に近い装置を欧米、アジア、中東など世界各地の客先に納入し、設置を終えています。
| 項目 | MVD100E-4 | MVD150 |
| プロセスチャンバー温度範囲 | 35 to 100° C | 35 to 150° C |
| ユーティリティーガス温度範囲 | 35 to 100° C | 35 to 150° C |
| プロセスガス温度範囲 | 35 to 120° C | 35 to 150° C |
| プロセスチャンバー寸法 | 10.40” L x 11.70” W x 3.00” Deep (With Liners) 11.10” L x 12.40” W x 3.25” Deep (Without Liners) |
10.25”H x 13.40” W x 10.00” Deep |
| 装置寸法cm (Inch) H x W x D（ドアを閉めた状態） |
137 x 122 x 76 (54 x 48 x 30) | 185 x 122 x 107 (72.76 x 48 x 41.63) |
| 概算重量 kg (lbs) | 363 (800) | 546 (1200) |
| チャンバー用高温対応静電容量型圧力計 | 標準 | 標準 |
| シーメンスPPC67715T HMIインターフェース | 標準 | 標準 |
| 高精度チャンバー温調制御± 5°C | 標準 | 標準 |
| 生産性ソフトウエア | 標準 | 標準 |
| 加熱したチャンバーN２ | オプション | 標準 |
| 自動化 | 対応不可 | オプション |
| デガス | 標準 | 標準 |
| プロセス能力 | MVD: SAM, CVD-type, ALD-type | MVD: SAM, CVD-type, ALD-type |
| 異物コントロール | 対応不可 | 標準 |
| メンテナンス性の高いデザイン | 標準 | 標準 |
■成膜加工受託にも対応しております。
これまでAMSTでは MEMS, インクジェット, バイオ他の用途で、多くのお客様のデバイスを数多く処理してまいりました。
稲畑産業およびAMSTでは、装置購入前提でなくても、MVD成膜にご興味があるお客様に対し、有償での成膜加工を受託しております。
稲畑産業およびAMSTでは、装置購入前提でなくても、MVD成膜にご興味があるお客様に対し、有償での成膜加工を受託しております。
| MVD®膜の種類 | 成膜可能な基板材料 | |
・撥水膜/親水膜 ・撥油膜/ 親油膜 ・自己修復膜 ・滑材/非固着膜 ・低温で酸化膜を成膜 ・耐食膜 ・水分 / 油分バリア ・接着強化/下地膜 ・離型膜 ・生体適合膜/生体反応膜 ・各種機能膜 ・高カバレッジな各種機能膜 |
・Silicon ・Metals (Al, Ti, Cr, Au, Cu, etc.) ・Oxides (SiO2, SiNx) ・Glass and Acrylics ・Polycarbonates ・Polystyrene ・Poly-propylene ・PMMA ・PDMS ・SU-8 ・Photoresists |
お問い合わせ先
詳細のご説明のご要望や、サンプル成膜デモのご依頼につきま
しては、
お気軽に下記までお問い合わせください。
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Regional Sales/Service Offices
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