コンポーネント
| 8”ウエハー用SMIF-POD（台湾E-SUN社） |  |
| 台湾E-SUN社製のウエハーSMIF Pod、レチクルSIF Pod、FOSB、ウエハーコンテナ、ウエハーカセット、ストレージボックス等々取り扱い >>詳細はこちら 200mm SMIF POD（PDF）（188KB） |
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| ペデスタル（嫌振袈台）（オランダMECAL社） |  |
| 最先端の機械工学から生まれた高精度半導体製造設備用ペデスタルです。 LSIの加工プロセスの微細化の進行により、各半導体製造メーカーでは製造装置を支持する構造（床材）が磐石であることがますます要求されています。機械工学のコンサルティングからスタートしたメカル社のエンジニアリングの結晶であるペデスタルはそれらの高い要求を満たします。（オランダMECAL社） >>詳細はこちら（PPT） |
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| 半導体露光工程装置用ケミカルフィルター（米DONALDSON社） |  |
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